Đây là con chip theo công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) đầu tiên của Việt Nam được sản xuất ở quy mô nhiều chip trên một tấm wafer, với nhiều kích thước và dải đo khác nhau.
Bước đầu, chip cảm biến áp suất của Trung tâm Nghiên cứu Triển khai (Trung tâm R&D, trực thuộc Khu Công nghệ cao TPHCM) đã được sản xuất ở quy mô phòng thí nghiệm với độ đồng nhất trên 80%, nghĩa là trên một tấm wafer 4 inch (sẽ sản xuất được 150 con chip), số lượng sản phẩm đạt chuẩn trên 80% (sản xuất bằng tay). Nếu sản xuất trên dây chuyền công nghiệp, tỷ lệ này ước đạt trên 95%.
Nghiên cứu sản xuất chip cảm biến áp suất tại phòng sạch của Khu Công nghệ cao TPHCM
Thạc sĩ Trương Hữu Lý, Trưởng nhóm nghiên cứu chip cảm biến áp suất của Trung tâm R&D, cho biết: Chip cảm biến áp suất được ứng dụng rộng rãi trong đời sống, công nghiệp và y tế. Trong công nghiệp, chip cảm biến áp suất có tác dụng kiểm soát áp suất đường ống, khí gas.
Trong y tế, chip cảm biến áp suất dùng trong thiết bị đo huyết áp. Còn trong đời sống, chip cảm biến áp suất dùng trong các thiết bị đo mực nước như máy giặt, máy rửa chén, bồn nước… Ngoài ra, chip cảm biến áp suất còn được sử dụng để chế tạo thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước, phục vụ chương trình thủy lợi, chống ngập úng...
Nhóm nghiên cứu chip cảm biến sinh học trình diễn đo mực nước tại lễ công bố chip cảm biến áp suất
Chip cảm biến áp suất là dự án kết hợp giữa 2 đơn vị: Trung tâm R&D (trực thuộc Khu Công nghệ cao TPHCM) và ICDREC (trực thuộc Đại học Quốc gia TPHCM). Trung tâm R&D có phòng sạch, thiết bị để chế tạo, còn ICDREC thiết kế cấu trúc chip cảm biến và phát triển ứng dụng. Mục tiêu của dự án là dùng chip cảm biến áp suất kết hợp với bộ vi xử lý (SGV801 của ICDREC) để tạo ra những sản phẩm như đã nói trên.
Hiện nay, có Công ty Global Technical Service (công ty nước ngoài, tọa lạc tại Khu công nghệ phần mềm Quang Trung) quan tâm, liên kết, đã ký kết thỏa thuận hợp tác để ứng dụng chip cảm biến áp suất trong sản xuất thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước.
| |
Kim Thanh
.jpg.webp)
